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产品简介
本系统应用于光学元件表面散射率的测量，主要针对大尺寸光学元件。
指数指标
- 散射率检测精度 0.1%
- 升降机构重复定位精度：0.02mm
- 旋转机构重复定位精度：<0.05°
- 倾斜机构调整角度：±7.5 °
- 平移机构：分辨率1um
- 工作频率（电子学系统参数）：1000Hz
- 动态范围（电子学系统参数）：80dB
- 品质因数（电子学系统参数）：Q>50
- A/D（电子学系统参数）：16bit
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